机型 性能	EVO 7S
探针头	4（2前 / 2后）
最大测试面积（X/Y)	610mm x 510mm
最小测试板尺寸	25mm x 50mm
测试板最大厚度	6.0mm
测试板最小厚度（真空状态）	不限
测试板最小厚度（标准状态）	0.2mm
重复精度	± 5μm
X/Y 分辨率	6μm
最小焊盘尺寸	75μm
最小焊盘间距	150μm
探针压力	最大5g (由压力感应控制）
CCD镜头数目	2（1前 / 1后）自动定位
上下板	自动升降装置拉伸架/快速夹条/真空吸盘（选配）
测试电压	10-500V（可调） 1000V（选配）
测试电流	10-500mA (可调）
开路测试	电容测试/电阻测试（优先电容测试）
短路测试	电容测试/电阻测试（优先电容测试）
电源要求	115/230V, 50/60Hz, 3KW
外型尺寸（长x宽x高）	1800mm x 850mm x 2000mm
四线低阻测试功能	可选配（最小静态阻值可测试0.15mΩ）
重量	1400kg
气压要求	6 bar
室内温度	18℃ - 28℃